ZKY-III型真空度測試儀應用和技術(shù)指標

ZKY-III型真空度測試儀應用和技術(shù)指標

主要特點(diǎn)

★基于電離電荷的采樣技術(shù)

ZKY-III型真空度測試儀均采用基于電離電荷的采樣技術(shù)。我廠(chǎng)專(zhuān)家在磁控放電的研究中發(fā)現：在外激勵電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時(shí),真空滅弧室里的真空度與電離的電荷量有非常準確的對應關(guān)系,而與電離電流的峰值僅有概率上的相關(guān)性。因此，我廠(chǎng)*了基于電離電荷的采樣技術(shù)，顯著(zhù)提高了真空滅弧室的真空度計量的準確性。

★漏電電流的處理

對處于分斷狀態(tài)的真空滅弧室兩端加高壓時(shí)，會(huì )有數值不等的幾個(gè)微安的漏電電流，此漏電電流即使是同型號的真空滅弧室也有較大的個(gè)體差異。尤其是對于裝在整機上的真空滅弧室，由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電，這些漏電的總和有更大的不穩定性和不可預測性，并且在數值上與10E-4Pa數量級的真空滅弧室的電離電流相當。我們采用兩次起動(dòng)高壓的方法，扣除了漏電電流，保證了無(wú)論是裝于整機上還是待裝的真空滅弧室的真空計量精度。

★內置國內外幾乎所有真空滅弧室的測量曲線(xiàn)

真空滅弧室由于其幾何尺寸、材料的不同，當內部真空度和外加激勵電源一定時(shí)，其放電電荷量是不同的，并且有相當的差異。為準確測量，對每一種真空滅弧室必須有對應的從電離電荷量到真空度的推算曲線(xiàn)。我廠(chǎng) 的專(zhuān)家通過(guò)與國內主要真空滅弧室生產(chǎn)廠(chǎng)家的密切合作，取得了幾乎國內外所有真空滅弧室的電離電荷和真空度關(guān)系的數據，通過(guò)數學(xué)處理，將其特征參數送入ZKY-III系列產(chǎn)品。因此,ZKY-III系列產(chǎn)品內置國內外幾乎所有真空滅弧室的測量曲線(xiàn)。

這是國內外同類(lèi)產(chǎn)品中*的。

★完善的輸入保護電路

當真空滅弧室的真空度非常低時(shí)，測量時(shí)真空滅弧室會(huì )被高壓擊穿，瞬間的高壓直接加至信號輸入端的采樣電路上，使其承受十分強的電沖擊。ZKY-III的信號輸入端的采樣電路增加了完備的保護電路，即使儀器由于輸入端的高壓沖擊而發(fā)生暫時(shí)工作不正常時(shí)（重新開(kāi)機即可），也不會(huì )造成電路部分的損壞。

技術(shù)參數

▲測量范圍： 1*10-5～1*10-1pa

▲測量誤差： l*l0-4～1*l0-1pa中誤差<5%

▲測量分辨率： 10-5pa

▲允許環(huán)溫： O℃～55℃

▲空氣濕度： <85%RH

▲電 源： AC220士10%

▲外型尺寸： 430X300X235mm

關(guān)鍵詞：真空度測試儀，真空度測試儀，真空度測試儀

使用說(shuō)明

ZKY-III型真空度測試儀是真空滅弧室的真空度的鑒定設備。它以單片計算機為主控單元，測試過(guò)程*實(shí)現自動(dòng)化。該儀器在原理上改變了國內外同類(lèi)產(chǎn)品采用電流峰值做標定的方法，而采用離子電荷來(lái)做標定。這樣，在物理原理上有更好的準確性，而且，有效地抑制了測試過(guò)程中脈沖電源的干擾，使測試穩定可靠。該儀器采用兩次采樣的方法扣除由于環(huán)境因素產(chǎn)生的漏電電流，并且在測量過(guò)程中考慮了*漏氣的真空滅弧室的判別，真正做到了對安裝于整機上的真空滅弧室的準確計量。目前，該儀器中已存有26條真空滅弧室的測量標準曲線(xiàn)，涵蓋了國內外絕大多數管型。

該儀器質(zhì)量可靠，造型美觀(guān)，使用方便。

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